【摘 要】
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本文报告了用Ｘ光电子能谱法（ＸＰＳ）对氮氧化铝／铁膜内层电子特征能量的探测与分析，获得了膜层中不同深度的元素成分及化学结构．结果表明：ＸＰＳ方法是研究氮氧化铝选择性吸收膜的有效方法．
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【机 构】
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北京轻工业学院基础部,北京理化分析测试中心
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本文报告了用Ｘ光电子能谱法（ＸＰＳ）对氮氧化铝／铁膜内层电子特征能量的探测与分析，获得了膜层中不同深度的元素成分及化学结构．结果表明：ＸＰＳ方法是研究氮氧化铝选择性吸收膜的有效方法．
In this paper, we report the detection and analysis of electron energy of the inner layer of aluminum oxynitride / iron by X-ray photoelectron spectroscopy (XPS), and obtain the elemental composition and chemical structure at different depths in the film. The results show that XPS method is an effective method to study selective absorption of aluminum oxynitride film.
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