低温PECVD法形成纳米级介质膜微观结构研究

来源 :固体电子学研究与进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户：L175913

【摘要】

：

采用俄歇电子能谱(AES)和傅里叶红外光谱(FTIR)分析低温PECVD法形成纳米级SiOxNy介质膜的微观组分结构及其与制膜工艺间关系,通过椭圆偏振技术测试该薄膜的物理光学性能.研究

【作者】

：

陈蒲生陈闽捷张昊刘小阳王锋

【机构】

：

华南理工大学应用物理系,华南理工大学机电工程系,信息产业部电子五所,广东省电子技术学校

【出处】

：

固体电子学研究与进展

【发表日期】

：

2004年3期

【关键词】

：

介质膜俄歇电子能谱傅里叶红外光谱微观组分结构电学性能 dielectric film Auger electron spectrum Fourier

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

采用俄歇电子能谱(AES)和傅里叶红外光谱(FTIR)分析低温PECVD法形成纳米级SiOxNy介质膜的微观组分结构及其与制膜工艺间关系,通过椭圆偏振技术测试该薄膜的物理光学性能.研究结果表明:该介质膜中氮、氧等元素均匀分布,界面处元素含量变化激烈;高、低反应气压变化对膜内微观组分影响有异;该薄膜是既含有类似Si3N4、又含有类似SiO2的非晶状态,呈现无序网络结构;随着含氮量或含氧量的增多,该膜分别向Si3N4或SiO2成分较多的结构转化;优化制膜工艺形成的富氮SiOxNy膜的性能与结构方面得到提高.

其他文献

薄壁不锈钢内凹旋转体封头的制造

本文介绍了一种形状特殊的薄壁不锈钢半圆内凹异形旋转体封头的制造方法,根据其形状的特殊性,着重介绍了此封头的成型、坡口加工、瓜片组装、焊接等工艺过程以及所采用的工艺

期刊

凹形封头压制坡口加工装焊reversed head pressing beveling of edge welding

南京电子器件研究所微波毫米波封装研究中心

该中心从事专业微波、毫米波器件封装有40多年历史，研制开发出多种封装类型、数十个系列产品。包括从厘米波段到毫米波段二端器件：S、C、X、K波段GaAs功率FET；P，L、S、C波段硅功

期刊

南京电子器件研究所微波毫米波器件封装研究中心单片集成电路毫米波段GaAs功率FET功率晶体管多芯片模块

基于加速度计的无陀螺捷联惯性制导系统设计

针对舰炮武器系统射击精度低的问题，研究了适宜在炮弹中应用的基于微加速度计的无陀螺捷联惯性制导系统．采用三种方法对载体的角速度进行解算并分析了各种方法的利弊，提供了载体

期刊

无陀螺捷联惯导加速度计角速度gyroscope free strap-down inertial navigation acceleromete

全量型弹簧安全阀制造中的性能控制

结合全量型弹簧安全阀的工作原理以及长期的制造经验，重点分析了安全阀在生产过程如何保证其性能。

期刊

安全阀性能制造精度阀瓣弹簧调试safety vale performance accuracy of manufacturing cla

基于XML的LBS系统架构设计与实现

以G IS和移动通信技术为基础的LBS系统具有用户访问方式多样、数据格式不统一的特点,为此提出利用XM L、移动A gen t构建分布式LBS系统的解决思路,重点解决用户如何访问系统及系统如何处理用户请求.系统以两层业务结构为基础设计基于有限状态机运行控制的移动A gen t;采用基于消息与事件驱动模型管理移动A gen t;利用V o iceXM L,WM L以及XM L,提出四种接入方式解决方

期刊

位置服务GISXML移动AGENTLBS GIS XML mobile agent

循环流化床锅炉受热面磨损分析及处理方法探讨

介绍了循环流化床锅炉受热面磨损的机理,分析指出了循环流化床锅炉受热面管道易磨损部位及防制措施,建议针对不同炉型、不同部位采取合适的的防磨措施,使循环流化床锅炉的磨

期刊

循环流化床磨损措施CFB erosion measure

新型槽栅nMOSFET热载流子效应的模拟研究

应用二维器件仿真程序PISCES-Ⅱ,对槽栅结构和平面结构器件的特性进行了模拟比较,讨论了槽栅结构MOSFET的沟道电场特征及其对热载流子效应的影响.槽栅结构对抑制短沟道效应和

期刊

槽栅结构NMOSFET热载流子效应热载流子退化器件特性亚阈值特性输出特性grooved gate characteristics of devi

考虑松弛特性的斜拉索面内非线性振动分析

基于牛顿运动定律及Galerkin模态截断原理，考虑拉索的垂度、大位移引起的几何非线性及拉索初始静平衡特性，根据拉索振动过程中的索力变化状态，推导并统一了斜拉桥拉索振动过程中

期刊

斜拉索参数振动松弛特性分段时程积分stayed cable nonlinear vibration loosening effect subsec

水中目标水压场信号特征提取与检测研究

利用目标信号功率主要集中在低频部分的特点，用功率谱估计方法提取低频信号的能量作为特征，提出了所谓的浮动阈值方法，对信号滑动地进行目标检测．通过对实验船模水压场信号进行检

期刊

功率谱估计特征提取目标检测舰船水压场power spectrum estimation feature extraction target de

基于离散约束的最小能量DSR路由协议

针对DSR和MEDSR协议负载平衡能力的不足，提出一种具有离散约束的最小能量DSR路由协议——DMEDSR．该协议不仅考虑路径中的最小剩余能量这一因素，还考虑了路径中节点剩余能量离散

期刊

ADHoe网络DSR负载平衡能量离散度Ad Hoc Network DSR load balance energy dispersion

低温PECVD法形成纳米级介质膜微观结构研究

与本文相关的学术论文