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论述了从硅熔体中生长3C-SiC晶体过程中6H-SiC晶型控制的一般原理,采用将硅置于高纯石墨坩埚中使其在高温条件下熔化。坩埚内壁石墨自然熔解于硅熔体中形成碳饱和的硅熔体,在石墨表面形成厚约0.2mm的SiC薄层。X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)、Raman散射等分析表面所制备样品为3C-SiC多晶体,实验结果进一步证明从硅熔体中生长3C-SiC晶体过程中,通过适当调整工艺参数可以抑制6H-SiC晶型的形成。