【摘 要】
:
We investigate the thermal stresses for GaAs layers grown on V-groove patterned Si substrates by the finite-element method. The results show that the thermal st
【机 构】
:
State Key Laboratory of Information Photonics and Optical Communications, Beijing University of Post
论文部分内容阅读
We investigate the thermal stresses for GaAs layers grown on V-groove patterned Si substrates by the finite-element method. The results show that the thermal stress distribution near the interface in a patterned substrate is nonuniform, which is far different from that in a planar substrate. Comparing with the planar substrate, the thermal stress is significantly reduced for the GaAs layer on the patterned substrate. The effects of the width of the V-groove, the thickness, and the width of the SiO2 mask on the thermal stress are studied. It is found that the SiO2 mask and V-groove play a crucial role in the stress of the GaAs layer on Si substrate. The results indicate that when the width of V-groove is 50 nm, the width and the thickness of the SiO2 mask are both 100 nm, the GaAs layer is subjected to the minimum stress. Furthermore, Comparing with the planar substrate, the average stress of the GaAs epitaxial layer in the growth window region of the patterned substrate is reduced by 90%. These findings are useful in the optimal designing of growing high-quality GaAs films on patterned Si substrates.
其他文献
随着新课程改革的推行,我国教育的许多方面都得到了长足的发展,对现阶段各学科的教学提出了新的标准。为了迎合素质教育和全面发展的目标,就需要从培养学生的基本能力出发,对提高课堂教学的水平和质量进行分析和研究。初中英语教育注重适应新的语言环境和培养基本的学习能力,一方面要重视英语听,说,读,写的基本能力,另一方面也要联系生活实际,使得学生培养的基本能力在现实环境学以致用,达到我国在知识经济时代对人才培养
我国日益恶化的生态环境越来越引起社会各界的关注,如何对生态环境问题采取有效的综合治理策略,已经成为科学界面临的一个挑战。中国西南喀斯特地区属于我国生态环境脆弱区
基于2005-2010年林业资源清查数据,采用材积源生物量法,运用地理信息系统技术,估算和分析了桂西北植被碳密度及其储量的空间分布及其变化,并进一步通过13个环境因子的137
为了揭示喀斯特地区土壤侵蚀过程与机制,使用137Cs断代法,对贵州高原石人寨岩溶洼地土壤沉积物进行了年代分析,获取了该洼地1954年以来不同历史时期的土壤流失量,研究发
喀斯特洞穴外部环境信息通常最终反映为洞穴滴水地球化学特征的变化,而滴水阳离子作为重要的水化学指标,其特征变化及环境响应特征也必然与洞穴外部的环境信息相关联,且对洞
The temperature in the high-pressure high-temperature (HPHT) synthesis is optimized to enhance the thermoelectric properties of high-density ZnO ceramic, Zn0.98
对黄土高原东南缘河南西部栾川县鸡冠洞2009年10月~2014年6月进行了4个完整水文年的洞穴水δ13CDIC的动态监测,结合鸡冠洞现代过程监测和气象数据分析,初步探讨了在我国南北
强震对地貌的影响可以分为两类:i)造山运动,对地貌隆升做贡献(e.g.,Bilham et a1.,2001a, b;Meade,2010);ii)剥蚀作用,强震会造成大量山体滑坡、垮塌等对地貌隆升起负作用(e
受人文环境与英语发展水平等客观条件的制约,我国大多数高中生的英语阅读水平普遍不高。为了使高中生的英语阅读能力得到有效提高,对在高中英语课堂教学中提升学生阅读能力方
植硅体是反演古气候和古环境的重要指标,土壤有效硅含量的空间分布可以通过影响植物体内植硅体的形成而影响土壤中植硅体含量及组合特征.本文选择东北地区12个样点,采集3