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利用微机电系统(MEMS)技术,制作了一种新型传感器阵列.首先,在刚性衬底上制作了一种8×8切应力传感器阵列,然后,利用硅岛阵列技术制作了一种柔性结构.试验结果表明:所制作的柔性传感器阵列经多次弯扭循环后,电阻值基本没有变化,柔性传感器在经过弯扭3300次后,传感器本身的柔性材料并没有断.
微型柔性剪切应力传感器的制作研究
【摘 要】
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利用微机电系统(MEMS)技术,制作了一种新型传感器阵列.首先,在刚性衬底上制作了一种8×8切应力传感器阵列,然后,利用硅岛阵列技术制作了一种柔性结构.试验结果表明:所制
【机 构】
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华中科技大学,华中科技大学,华中科技大学,华中科技大学
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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2005年8期
【基金项目】
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国家高技术研究发展计划(863计划)
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