一种用以改善硅衬底螺旋电感性能的局域介质增厚新技术

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:skyboy
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
提出了一种用于提高硅基螺旋电感性能的局部介质增厚技术.这种技术通过淀积、光刻和湿法腐蚀工艺,局部增加电感下方的氧化层厚度,以降低衬底损耗和提高电感性能.所采用的结构及工艺简单、成本低廉,与CMOS工艺兼容良好.用这种技术制作的几种不同电感量的方形螺旋电感、品质因数和自谐振频率均显著提高.10,5和2nH的电感,品质因数的峰值分别提高了46.7%,49.7%和68.6%;而自谐振频率的改善更明显,分别达到了92.1%,91.0%及不低于68.1%.
其他文献
应用紫外光化学气相淀积技术在450和480℃超高真空的背景下在Si衬底上分别生长出应变Si1—xGex和Si材料.在此低温下,有效地控制了衬底中的杂质外扩以及界面的不清晰.X射线分析结
利用正向交流(AC)小信号方法对发光二极管(LED)的电容-电压特性进行测量,可以观察到发光二极管中的负电容现象.提出了测量到的负电容现象是表象,不存在负电容;发光二极管p-n结的
依据《测控电路》课程特点,从教学内容、教学模式、教学手段等方面对本课程进行课堂教学的改革探索,以期培养学生的自主学习能力,实现从被动到主动学习的转换。
在现如今经济现代化进程飞速发展、网络日益普遍的大环境下, 对未成年人的思想道德建设工作也变得愈发紧迫。虽然在现阶段下,孩 子们的视野变得更为开阔,驾驭知识的能力也更
随着社会和信息化水平的飞速发展,教育改革也愈受关注,其中有发展机遇,同样也并存更加严峻的考验,这是对职业教育整体的考验也是对职业教育从事人员管理和教学能力的综合考验
本文根据电力通信电源的典型架构特点,通过风险辨识,从各个单元、模块分别辨析,进而得出较为科学的运维策略。本文所述的运维策略基于南方电网通信电源的日常运维要求,从电源
微课是在教育培训信息化发展历程中产生的一种高效的培训方式,微课培训的鲜明特点为铁路教育培训当前面临的困惑提出了新的解决途径。本文在分析了当前铁路培训所面临突出问
采用角依赖X射线光电子谱技术(ADXPS)对高温氧化SiO2/4H—SiC(0001)界面过渡区的组成、成分分布等进行了研究.通过控制1%浓度HF酸刻蚀氧化膜的时间,制备出超薄膜(1~1.5nm)样品,同时借助标
自主研制的GaN HEMT,栅源泄漏电流从10-4A量级减小到了10-6A量级,有效提高了栅漏击穿电压,改善了器件工作特性.采用MIS结构制作了2.5mm栅宽GaN HEMT,测试频率为8GHz,漏源电压
利用吸收光谱、光致发光谱、喇曼散射光谱和椭圆偏振光谱一系列光学手段,对采用金属有机物气相沉积法(MOCVD)制备的InN薄膜的光学性质进行了系统研究.吸收光谱和光致发光谱的结果