【摘 要】
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桶形腐蚀卜仅仅是各向同性2.腐蚀均匀性与流量有关 ’ ～ ’ 、3. 微电子学中所用各种材料的选择性腐蚀需要更多的窍门反应离子腐蚀(RIE)ir;腐蚀速率低 .2. 在一些方法中可能需
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桶形腐蚀卜仅仅是各向同性2.腐蚀均匀性与流量有关 ’ ～ ’ 、3. 微电子学中所用各种材料的选择性腐蚀需要更多的窍门反应离子腐蚀(RIE)ir;腐蚀速率低 .2. 在一些方法中可能需要抑制涂层,以便获得选择性和各向异往1-3: 可能会出现损伤和杂质的影响4. 微电子学所用的各种材料的
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