【摘 要】
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目前,深能级瞬态谱仪DLTS(Deep Level Transient Spectrcopy)已广泛应用于研究半导体中深能级中心以及界面态的各种性质.本文介绍用计算机控制DLTS的测试,并同时进行数据处
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目前,深能级瞬态谱仪DLTS(Deep Level Transient Spectrcopy)已广泛应用于研究半导体中深能级中心以及界面态的各种性质.本文介绍用计算机控制DLTS的测试,并同时进行数据处理,使得只需一次温度扫描,便可完成对每个深能级中心的能级位置、浓度及其俘获截面的测试,并立即得到计算结果.这样不仅缩短了实验时间,同时也
At present, Deep Level Transient Spectrometer (DLTS) has been widely used to study various properties of deep level centers and interface states in semiconductors.This paper introduces the computer-controlled DLTS test and data processing at the same time, With only one temperature scan, the energy level position, concentration, and capture cross-section of each deep-level center can be tested and the results obtained immediately. This not only shortens the experiment time but also
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