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期刊论文
金刚石薄膜涂层:一种新型固体表面强化方法
金刚石薄膜涂层:一种新型固体表面强化方法
来源 :纺织高校基础科学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:P214909697
【摘 要】
:
阐述了金刚石薄膜涂层的性能及应用前景。用微波等离子体气相沉积 Si(111)以及SDA100,s人造单晶金刚石的外露面上沉积出了优质金刚石薄膜层。
【作 者】
:
方莉莉
【机 构】
:
郑州纺织工学院基础部
【出 处】
:
纺织高校基础科学学报
【发表日期】
:
1995年2期
【关键词】
:
金刚石薄膜
涂层
固体
表面强化
半导体材料
diamond film coating
chemical vapor deposition
microwav
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阐述了金刚石薄膜涂层的性能及应用前景。用微波等离子体气相沉积 Si(111)以及SDA100,s人造单晶金刚石的外露面上沉积出了优质金刚石薄膜层。
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