全密封超薄碳纳米管玻璃平板字符显示器件制造工艺的初步探讨

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利用自制的场助热丝化学气相沉积设备,在不锈钢电极的部分选取表面上,摸索出了直接生长碳纳米管(CNT s)勿须涂敷催化剂的新方法。利用得到的高定向多壁碳纳米管薄膜,研究出一种制造大面积实用碳纳米管阵列场发射(CNT s/FEA)阴极的新方法。经真空条件下的发射特性测量及SEM等检测手段肯定了这种CNT s/FEA阴极的实用性。从工艺流程角度出发,初步探讨了静态工作制式下,采用碳纳米管做电极后,实现一种全密封超薄碳纳米管玻璃真空字符(或图像)显示器件的可能性。10多只封离管共显示过3种类型的字型(图像),全部管厚仅为2·7mm。实验结果不仅提供了一种碳纳米管阴极在玻璃真空平板型器件内应用的方法,也摸索出了一条实现小尺寸双色(或多色)字符(图像)静态(或动态)显示的廉价、节能途径。 A new method of directly growing carbon nanotubes (CNTs) without applying catalyst was developed by using a homemade field assisted hot filament chemical vapor deposition equipment on the selected surface of the stainless steel electrode. A new method of fabricating CNT s / FEA cathodes with large area was developed by using the obtained highly oriented multi-walled carbon nanotube films. The practicability of CNTs / FEA cathode was confirmed by measurement of emission characteristics under vacuum and SEM. From the point of view of process flow, the possibility of a fully sealed ultra-thin carbon nanotube glass vacuum character (or image) display device under the static working mode was discussed after the carbon nanotubes were used as the electrodes. More than 10 seals only showed 3 types of fonts (images), all with a tube thickness of only 2.7 mm. The experimental results not only provide a method for the application of carbon nanotube cathodes in glass vacuum plate type devices, but also find a cheap, energy saving method for static (or dynamic) display of two-color (or multicolored) characters way.
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