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讨论了离子注入机尘埃污染的原因,给出了用冷凝泵系统取代扩散泵系统的改造实践,并提出了预防维修措施以全面减少尘埃污染.
离子注入机靶室尘埃污染与系统改造
【摘 要】
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讨论了离子注入机尘埃污染的原因,给出了用冷凝泵系统取代扩散泵系统的改造实践,并提出了预防维修措施以全面减少尘埃污染.
【机 构】
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深圳外贸中心深圳科鹏微电子有限公司
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2002年2期
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