氧气分压对TiO2薄膜结构、磁性及输运性质的影响

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采用脉冲激光沉积技术在LaAlO3(100)基片上制备了TiO2薄膜,研究了氧气分压对薄膜结构、磁性与输运性质的影响.结构测量表明,TiO2薄膜的结构与沉积过程中的氧气分压有关,氧气分压的增大有利于薄膜向锐钛矿相转变.磁性测量表明,在较高的氧气分压下制备的TiO2薄膜表现为顺磁性,在较低氧气分压下制备的TiO2薄膜表现出明显的室温铁磁性,其铁磁性与氧空位有密切关系.输运测量进一步表明,TiO2薄膜表现为半导体导电特性,在具有铁磁性的薄膜中还观察到了低温磁电阻效应.
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