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介绍了电致伸缩陶瓷驱动的高精度、高分辨率、高频响的仿生型两维大行程超精密驱动器和六自由度超精密微驱动器，说明了驱动器的结构、工作原理、技术指标及应用情况，并介绍了所研制的ＰＤ系列压电／电致伸缩陶瓷驱动电源。
多维超精密微驱动器及控制系统的研究
【摘 要】
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介绍了电致伸缩陶瓷驱动的高精度、高分辨率、高频响的仿生型两维大行程超精密驱动器和六自由度超精密微驱动器，说明了驱动器的结构、工作原理、技术指标及应用情况，并介绍了所
【机 构】
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哈尔滨工业大学
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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1995年S1期
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