位移分辨率相关论文
发展了一种采用超声波电机精密驱动的二维精密控制系统。利用超声波电机的低速大转矩、动作响应快、定位精度高等特性，直接驱动二维......
提出一种使用自聚焦透镜构成的光强度调制的光学位移测量原理，利用发光二极管作光源，光从第一根自聚焦透镜发出，然后受到反射镜的反射......
由于具有非接触、无损伤等操纵特性，光镊已经被广泛应用在物理、生命科学、纳米材料等领域，成为跨学科研究领域最重要的工具之一。本......
以微幅振动经摩擦驱动的超声波电动机,由于自身发热的作用,导致定子振动特性发生变化,进而对其位移分辨率产生显著影响。从超声波......
采用弹性铰链作为预紧机构,采用压电陶瓷作动器作为驱动机构,设计了一种超精密磨削辅助工件平台.具有结构简单、位移分辨率高、动......
叙述运用四测头进行在线测量，采用最小二乘逐次两点法将工件形状误差和导轨运动副误差分离出来，采用电致伸缩陶瓷元件设计了一套补偿......
用于纳米制造具有ｘｙｚ微定位的扫描探针显微镜张鸿海，曹伟，师汉民，陈日曜（华中理工大学）扫描探针显微镜已广泛用于纳米级尺度的检测，同时也能......
介绍了电致伸缩陶瓷驱动的高精度、高分辨率、高频响的仿生型两维大行程超精密驱动器和六自由度超精密微驱动器，说明了驱动器的结构......
本文介绍一种采用磁性浮球与测量导管内的测量元件作用,而获得测量电阻信号进行工作的测量液位变送器。分析了电路设计、结构、性......
由于纳米级精度运动平台在电子隧道扫描显微镜、光刻机及精密医疗设备有广泛需求，传统驱动方式中大行程、高精度难以同时实现，而直线......
为保证空间惯性传感器的正常在轨运行,在发射阶段需保证测试质量固定以避免与周围电容极板的接触碰撞;到达预定轨道后再重新捕获并......
为了实现对负载纳米级的精密定位,提出了一种利用压电材料作为驱动元件的三驱动足精密定位装置。设计了基于惯性冲击原理的精密定......
