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本文介绍用直流－射频平面磁控溅射法制备软X射线多层膜的初步实验结果。在一定工艺条件下，采用计算机定时控制膜厚的方法，严格按照设计周期制备了多层膜样品，并给出了X射线衍射仪小角衍射的检测结果。
用磁控溅射法制备软X射线多层膜
【摘 要】
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本文介绍用直流－射频平面磁控溅射法制备软X射线多层膜的初步实验结果。在一定工艺条件下，采用计算机定时控制膜厚的方法，严格按照设计周期制备了多层膜样品，并给出了X射线衍射仪
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械研究所,应用光学国家重点实验室
【出 处】
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光学精密工程
【发表日期】
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1995年1期
【基金项目】
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国家自然科学基金及国家高技术863－410－3专题的资助
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