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归纳总结了硅晶片的加工原理、加工方法和加工设备,分析了硅晶片超精密加工的研究现状,并对硅晶片超精密加工的发展趋势和今后的研究工作进行了展望.
硅晶片超精密加工的研究现状
【摘 要】
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归纳总结了硅晶片的加工原理、加工方法和加工设备,分析了硅晶片超精密加工的研究现状,并对硅晶片超精密加工的发展趋势和今后的研究工作进行了展望.
【机 构】
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长春工程学院机械工程系
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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2005年11期
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