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用超临界流体干燥法制备了纳米ZrO2粉体,并用不同热处理工艺进行处理,之后对样品进行TEM和XRD分析。结果表明,煅烧温度和煅烧时间对纳米ZrO2粉体性能的影响是显著的。随着煅烧温度的提高和时间的延长,粉体由t相转变为m相,晶粒尺寸逐渐增大,但是煅烧温度对ZrO2相组成和晶粒尺寸的影响比时间的影响更大。