【摘 要】
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目前在一系列应用中 (医学、光刻术等 ) ,用得很多的是短波长 Kr F*放电激光器 (波长 2 48nm) [1 ] 和 Ar F* 放电激光器 (波长 193nm) [2 ]。在这些激光器的气体混合物中 ,
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目前在一系列应用中 (医学、光刻术等 ) ,用得很多的是短波长 Kr F*放电激光器 (波长 2 48nm) [1 ] 和 Ar F* 放电激光器 (波长 193nm) [2 ]。在这些激光器的气体混合物中 ,有有毒的化学活性氟。为使 Kr F*和 Ar F*气体混合物能长时间工作 ,必须使用复杂和昂贵的气体混合物再生
Currently used in a series of applications (medical, photolithography, etc.) are the short-wavelength KrF * discharge lasers (wavelength 482nm) [1] and ArF * discharge lasers (wavelength 193nm) [2]. In the gas mixtures of these lasers there is toxic, chemically active fluorine. For the Kr F * and Ar F * gas mixtures to work long hours, complex and expensive gas mixtures must be used for regeneration
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