【摘 要】
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压电微机电系统（MEMS）为各种高性能滤波器、振荡器和传感器等提供了一个多功能平台。氮化铝（AlN）MEMS轮廓模谐振器（CMR）具有工作频率跨度大，品质因数高，体积小及能在单个芯片上集成多频器件且与集成电路（IC）技术兼容等优点，具有较好的应用前景。该文对AlN MEMS CMR的原理与典型结构、制备工艺及应用进行了综合性阐述，并分析了CMR技术未来的发展方向。
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压电微机电系统（MEMS）为各种高性能滤波器、振荡器和传感器等提供了一个多功能平台。氮化铝（AlN）MEMS轮廓模谐振器（CMR）具有工作频率跨度大，品质因数高，体积小及能在单个芯片上集成多频器件且与集成电路（IC）技术兼容等优点，具有较好的应用前景。该文对AlN MEMS CMR的原理与典型结构、制备工艺及应用进行了综合性阐述，并分析了CMR技术未来的发展方向。
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