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一种可以集成在各类上料设备中的在线检测硅片隐裂的装置与检测方法,运用定制的光源、检测相机,配合自主开发的算法,可快速、准确检测出硅片隐裂,并将其在线分离。避免后续工艺更多破片,帮助生产企业节约制造成本,提高产品品质。可同时适用于单晶、多晶和黑硅的检测,除准确检出隐裂外,还可同时检出破片及孔洞缺陷。