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本文应用 FUZZY 理论,提出一种制造半导体器件用的扩散炉恒温控制器的设计方案,把扩散炉温度漂移控制在±0.6℃以内,提高了控温精度并为提高半导体器件的性能及生产过程自动化创造条件。
扩散炉恒温模糊控制器
【摘 要】
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本文应用 FUZZY 理论,提出一种制造半导体器件用的扩散炉恒温控制器的设计方案,把扩散炉温度漂移控制在±0.6℃以内,提高了控温精度并为提高半导体器件的性能及生产过程
【机 构】
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东北重型机械学院基础部
【出 处】
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东北重型机械学院学报
【发表日期】
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1990年1期
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