腔镜加工误差和失调对光束质量的影响

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首先分析了腔镜加工误差对输出耦合率及光束的影响;其次用几何光学方法分析了主、次腔镜失调灵敏度,并利用光学仿真软件GLAD模拟了腔镜失调对光束近场、远场及桶中功率(PIB)的影响。结果表明,腔镜曲率半径加工误差在±1%左右对光束质量有少许影响,可在后续光路中对其进行校正。腔镜失调可使光束近场分布不均匀,远场发生畸变,且腔镜失调同样的角度时,次镜对光束质量的影响要大于主镜。
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