论文部分内容阅读
介绍了用ＬＩＧＡ技术研制用于微行星齿轮减速器的微齿轮过程中，Ｘ光掩模板图形的ＣＡＤ设计。它包括微齿轮的建模和图形的生成，微齿轮图形的分割及图形的拟合。
LIGA技术制造微齿轮中X光掩模板图形的CAD设计
【摘 要】
：
介绍了用ＬＩＧＡ技术研制用于微行星齿轮减速器的微齿轮过程中，Ｘ光掩模板图形的ＣＡＤ设计。它包括微齿轮的建模和图形的生成，微齿轮图形的分割及图形的拟合。
【机 构】
：
上海交通大学信息存储研究中心
【出 处】
：
微细加工技术
【发表日期】
：
2000年1期
其他文献
利用MEMS工艺制作了一种双层悬空结构的圆形片状微电感,并研究了其在S波段的性能.双层微电感的底层线圈制作在玻璃衬底平面上,外径为500μm,匝数为2,导线宽度70 μm,导线间距
研究了Ni-MoS2自润滑层在不同工艺条件下的结构特征、形貌，并分析其摩擦特性，发现润滑层表面粗糙度和厚度对摩察系数影响较大；即使MoS2含量较少，Ni-MoS2复合镀层的极限剪切模量也
简要介绍了自制的聚焦离子束（ＦＩＢ）系统中束着靶点的飘移现象，分析引起飘移的原因及所采取降低飘移的措施。用此ＦＩＢ进行了一些基本图形的刻蚀研究，讨论了束流密度分布对溅射刻蚀线条宽度
借助ＳＩＭＳ技术，系统地分析了８０ＫｅＶ，２．５×１０＾１４，５×１０＾１４，１×１０＾１５，２×１０＾１５和３×１０＾１５ｃｍ＾－２ＢＦ＾＋２注入多晶桂栅在９００℃，３０ｍｉｎ热退火条件下，氟在多晶硅栅中的分布剖面，并对氟在多晶硅和二氧化硅中的迁移特性进行了深入讨论。
通过LIGA技术与微细电火花技术相结合，可以在硬质合金、不锈钢等材料上加工出微结构，这一新的方法必将拓宽微细加工的能力和应用范围。利用LIGA技术制备线宽70μm、厚度达730μ
本文简要介绍了该电源的指标及电路，并详细论述了提高电源稳定度和可靠性的方法和措施，最后给出了测试结果和运行情况。
光刻胶对激光能量的吸收模型是激光直写中的重要模型，它是进行邻近效应计算机模拟进而实现邻近校正不可缺少的重要依据。分析了影响光刻胶吸收激光束能量的主要因素，提出了一种
对较大口径的混凝土供水干管爆管维修,常规采用停水维修作业方法.叙述了带水带压使用导气导流法,辅以快速堵漏剂进行维修的新方法.
探讨了工业循环水冷却塔改造后其热力性能的测试及有关数据的推算方法、步骤和改造效果的评价方式等方面的问题,提出冷却塔的改造效果应以改造后与改造前冷却能力ηst的差值
讨论了Ｓｐｉｎｄｔ方法制作金属型ＦＥＡ工艺过程中的技术难点和相应的解决方案，最后成功地研制出场发射阵列，并实现了场发射。