论文部分内容阅读
随着紫外大功率准分子激光器的发展,金属反射镜已不能满足要求,所以必须研制低损耗的全介质反射镜。本文描述了波长350nm(XeF)、308nm(XeCl)、248nm(KrF)和193nm(ArF)四种准分子激光反射镜的制备技术,其反射率分别达到99.7％、99.5％ 、98％和96％。在波长308nm,反射镜的激光破坏阈值达8J/cm~2以上。