【摘 要】
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表面/界面有限公司宣称:蚀刻速率监测仪晶片可为化学分析电子光谱仪、俄歇电子光谱仪、二次离子量谱仪等系统用的离子枪提供蚀刻速率的有效测量.
Surface / Interface Co.
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表面/界面有限公司宣称:蚀刻速率监测仪晶片可为化学分析电子光谱仪、俄歇电子光谱仪、二次离子量谱仪等系统用的离子枪提供蚀刻速率的有效测量.
Surface / Interface Co. claims that the Etch Rate Monitor wafer provides an effective measure of etch rate for ion guns used in chemical analytical electron spectroscopy, Auger electron spectroscopy, and secondary ion mass spectrometry systems.
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