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通过AFM针尖诱导氧化加工Ti膜的实验得到了凸出的Ti膜氧化物高度与偏置电压成线性关系，并和针尖扫描速度成负对数关系，在前人的基础上深化了AFM针尖诱导氧化加工的机理和理论模型，分析得到了合适的加工条件即：偏压为8V，扫描速度为0．1μm／s．
大气状态下AFM针尖诱导氧化加工Ti膜的机理分析
【摘 要】
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通过AFM针尖诱导氧化加工Ti膜的实验得到了凸出的Ti膜氧化物高度与偏置电压成线性关系，并和针尖扫描速度成负对数关系，在前人的基础上深化了AFM针尖诱导氧化加工的机理和理论模
【机 构】
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天津大学精密仪器与光电子工程学院精密测试计量技术及仪器国家重点实验室,天津大学电子信息工程学院
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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2003年12期
【基金项目】
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教育部天津大学南开大学科技合作项目 ,,教育部重点科技项目 (No.0 2 0 43 )基金资助~~
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