【摘 要】
：
浸没式光刻技术是在原干法光刻的基础上采用高折射率浸没液体取代原来空气的空间，从而提高光刻分辨率的一种先进技术．此项技术的实际应用，为当前IC产业的飞速发展起到了关键的作
【机 构】
：
北京科华微电子材料有限公司,中国科学院上海有机化学研究所
论文部分内容阅读
浸没式光刻技术是在原干法光刻的基础上采用高折射率浸没液体取代原来空气的空间，从而提高光刻分辨率的一种先进技术．此项技术的实际应用，为当前IC产业的飞速发展起到了关键的作用．本文概述了浸没式光刻技术的发展历程和浸没式光刻胶遇到的挑战及要求；对浸没式光刻胶主体树脂、光致产酸剂及添加剂的研究进展进行了综述；最后对浸没式光刻胶的研究发展方向作了进一步的探讨及初步预测．
其他文献
英语语法教学历来是英语教学中的焦点问题。2003年《高中英语课程标准》提出实行以学习者为中心的教学方式,改变传统过于注重语法规则的讲解和传授。新高考下,英语考试对语法
纪录片作为一种独立的艺术体裁,最根本的要求就是真实。在纪录片的发展中,艺术家逐渐发现了一种创作技法更适用于纪录片,即“真实再现”,由演员（现身或隐身）进行的人物扮演和场
当前随着科学技术的进步,各个领域对精度都有较高的要求。因此动态测量逐渐取代了传动静态测量,成为现代测量技术的主流。但由于动态测量具有动态性、时变性、相关性和随机性等基本特性,导致通过动态测量得到的数据已经不适合继续用静态误差理论进行处理和分析。而动态误差理论还处于起始阶段,因此提高动态仪器设备的检测与控制精度,仍需进一步深入研究动态测量误差的规律与特性。本文在基于动态测量精度理论和动态测量技术的发
在司法实践工作中,仲裁一直是解决多元纠纷的重要机制,能够十分有效地解决当事人的争议。但是,从法律层面来讲,争议事项是否具备可仲裁性,目前尚存疑虑,这一点也在很大程度上
长玻纤增强聚丙烯(LGFPP)是一种高强度、轻质的复合材料,同时具有较好的机械性能、耐热性、耐候性。长玻纤增强聚丙烯材料可以替代部分结构件、金属件材料用于汽车零部件,满
部队资产是部队依法占有、使用、管理的各种类型的财产及权利。对部队资产实施有效管理,直接关系到军费使用效率的高低和军队战斗力的生成。当前,全军土地、建筑物、装备、设
目的：探讨异基因造血干细胞移植早期特发性肺炎综合征(IPS)的发生率、诊断、临床过程和危险因素以及可能的发病机制。方法：对本院1997年4月～2006年12月期间167例异基因造血干细
近年来轻量化技术已成为汽车节能减排的关键技术之一,而塑料尾门的开发运用则是汽车轻量化设计的新趋势。目前将重点研究尺寸偏差控制技术在塑料尾门设计与制造中的应用。尺
英语既是交流的工具,也是思维的工具,是与世界接轨的一项语言工具,无论什么人种,只要置身于英语语言的环境里,就会自然而然地习得这门语言。那么没有英语语言环境的小学生怎
锰是机体必需的微量元素之一,但是过量的锰蓄积在大脑可引起运动障碍、肌张力增高和震颤麻痹等一系列帕金森样综合征,并且呈不可逆进行性发展~([1-3])。目前国内外关于慢性锰