论文部分内容阅读
2XZ—4C直联泵电路分析
【机 构】
：
南光实业股份有限公司
【出 处】
：
四川真空
【发表日期】
：
1996年2期
其他文献
本文在改制后的ＬＡＳ－２０００表面分析设备上对ＳＭＦ８００，Ｇ３石墨和（ＳｉＣ＋Ｃ）／Ｃ涂层石墨的真空出气性能和Ｄ＾＋束辐照化学增强腐蚀性能进行了分析研究。研究表明：ＨＬ－１Ｍ装置第一壁选择ＳＭＦ８００石墨及其处理工艺及合理，正确的。
本文对新型高真空元件进行了介绍，如：金属密封圈、卡钳等。在真空技术国，为了减少污染，金属密封圈在高真空的获得中得到了广泛应用。金属密封连接方式能抗辐射、耐烘烤，并可运用于
本文提出了一种可在低温（２５Ｋ）工作的新型机械泵设计，并对其工业样机进行描述，由于气体密度与温度的变化成反比，对于给定的则言，该泵的质量流率大大高于室温下的质量流率。与在室温下相
涡轮分子泵中存在着通过分子泵各级的泄漏现象，影响了分子泵实际的压缩比。如果在计算压缩比时不考虑这个影响，那么实际测得的压缩比大多远小于计算所得。对于从高压强级到低压