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期刊论文
镍衬底上定向金刚石膜的成核与生长
镍衬底上定向金刚石膜的成核与生长
来源 :真空科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:clhhjq
【摘 要】
:
提出了一种包括晶粒接种、高温退火、成核、生长四过程的薄膜沉积新方法,用射频率等离子体增强热丝化学气相沉积系统,在Ni衬底上制备了定向金刚石膜。通过对成核和生长两过程工艺
【作 者】
:
邱东江
顾智企
【机 构】
:
浙江大学物理系
【出 处】
:
真空科学与技术
【发表日期】
:
2000年5期
【关键词】
:
四步沉积法
成核
生长
金刚石膜
镍衬底
Fourstep deposition process
Nucleation and growth
Diamond f
【基金项目】
:
浙江省自然科学基金资助项目!(5 96 0 30 )
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提出了一种包括晶粒接种、高温退火、成核、生长四过程的薄膜沉积新方法,用射频率等离子体增强热丝化学气相沉积系统,在Ni衬底上制备了定向金刚石膜。通过对成核和生长两过程工艺条件的研究,掌握了提高成核密度和金刚石定向生长规律,实验还表明,膜与Ni衬底之间未见Ni-C-H界面层的形成。
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