【摘 要】
：
在接近式光刻机的曝光系统中,关心两项指标:1、是在掩膜和硅片脱离接触规定的间隙下,能否平滑衍射效应的影响;2、能否具有高均匀的照明场。本工作是针对第二项指标进行的。
论文部分内容阅读
在接近式光刻机的曝光系统中,关心两项指标:1、是在掩膜和硅片脱离接触规定的间隙下,能否平滑衍射效应的影响;2、能否具有高均匀的照明场。本工作是针对第二项指标进行的。
In proximity lithography exposure system, concerned about two indicators: 1, in the mask and the silicon out of contact with the provisions of the gap, the diffraction effect can be smoothed; 2, can have a high uniform illumination field . This work is for the second indicator.
其他文献
从上个世纪70年代末开始,我国企业信息化建设开始萌芽,时至今日,CIO(曾经的电脑部主管)由一个技术人员演变成今日大家所倡导的信息化管理者。2001-2002年,信息主管开始进入
请下载后查看，本文暂不支持在线获取查看简介。
Please download to view, this article does not support online access to view profile.
出发到南京前夕一直提醒自己,不管行程有多紧密多忙碌,一定要抽个时间去中山陵,这是辛亥革命百年,能够在中山陵前走一趟,感觉特别适时浓烈。然而计划归计划,去不了就是去不了
星期五早上,安妮一睁开眼,就急急忙忙跑下楼,倒了一碗燕麦粥,看看窗外——天才刚蒙蒙亮。“这么早,什么事这么急匆匆的?”爸爸问。“今天有拼写测验,爸爸。”安妮兴奋地说,“
党的十六届六中全会做出的《中共中央关于构建社会主义和谐社会若干重大问题的决定》,提出了构建社会主义和谐社会的目标和任务。在构建社会主义和谐社会的进程中,作为社会组
建立和谐稳定的劳动关系是构建和谐社会的重要内容。《劳动合同法》是和谐劳动关系的的法律基础,是和谐劳动关系实现的重要法律保障。2007年6月29日,《中华人民共和国劳动合
目的 观察含紫杉类药物的联合化疗对晚期恶性肿瘤的临床疗效及安全性。方法 用含紫杉类药物 (紫杉醇Paclitaxel,泰索帝Taxotere)的联合化疗方案治疗 3 7例中晚期恶性肿瘤患
说明:作者是一位经验丰富的中学教师,原文安排的是考前12天,本刊刊载时作了删节。我们将这个时间表推荐给考生,希望能为考生做好考前准备提供一些参考。考生的情况不同,时间
又是一年春雨时,我们张家口市宣化区第一中学举办了丰富多彩的的科技周活动。在科技周活动中,科学的春雨浸润着同学们,同学们爱科学、学科学的劲头如雨后春笋不断高涨。正如
德性是人类的伦理思想,它赋予人类生活以意义。对劳动关系进行德性伦理的规约在某种程度上已成为共识,但如何有效实现德性伦理对劳动关系的合理规约即实现劳动关系从德性应然