硅烷的纯化技术与检测分析方法

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高纯硅烷主要用于电子和半导体行业中,是一系列含硅化合物的基本原料。概述了硅烷的纯化技术和分析方法。纯化技术有吸附法、冷冻法、精馏法;检测分析方法包括DID、PDHID气相色谱分析仪和气相色谱—质谱联用分析仪。
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