基于同一外延层结构的10Gb／s单片集成光发射模块

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yusheng05

【摘要】

：

利用同一外延层集成工艺方法制作了10Gb／s电吸收调制器／分布反馈(DFB)半导体激光器单片集成光发射模块．在器件中引入增益耦合机制以提高单模成品率，并采用感应耦合等离子体干法刻

【作者】

：

孙长征熊兵王健蔡鹏飞田建柏罗毅刘宇谢亮张家宝

【机构】

：

清华大学电子工程系集成光电子学联合国家重点实验室,中国科学院半导体研究所集成光电子学联合国家重点实验室

【出处】

：

半导体学报

【发表日期】

：

2005年4期

【关键词】

：

分布反馈激光器电吸收调制器光子集成回路增益耦合 DFB lasers EA modulators photonic integrated circuit

【基金项目】

：

国家自然科学基金(批准号:60223001,60244001,60290084),,国家高技术研究发展计划(批准号:2001AA312190和2002AA31119Z),,国家重点基础研究发展规划(批准号:G2000 03 6601)资助项目~~

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

利用同一外延层集成工艺方法制作了10Gb／s电吸收调制器／分布反馈(DFB)半导体激光器单片集成光发射模块．在器件中引入增益耦合机制以提高单模成品率，并采用感应耦合等离子体干法刻蚀技术以降低调制器电容．集成器件阈值电流为12mA，在-2V偏置时的消光比为15dB，器件的小信号调制带宽超过10GHz．在10Gb／s调制速率下经过35km单模光纤传输后，误码率为10^-12时的功率代价小于1dB．

其他文献

工程造价咨询单位在控制工程造价中的作用分析

诠释了工程造价咨询的含义，分析了工程造价咨询行业的实际发展趋势，论述了工程造价咨询单位在控制工程造价中的重要作用以及对工程决策、设计、施工和竣工阶段的影响；工程实例表

期刊

工程造价咨询单位工程造价控制作用

等离子体刻蚀凹栅槽影响AlGaN／GaNHEMT栅电流的机理

对等离子体干法刻蚀形成的凹栅槽结构A1GaN／GaNHEMTs肖特基电流增加的机理进行了研究．实验表明，凹栅槽结构A1GaN／GaNHEMTs肖特基栅电流增加一个数量级以上，击穿电压有一定程度的下

期刊

等离子体刻蚀凹栅槽栅电流N空位plasma dry etching recessed-gate gate leakage N vacancies

半导体量子点中强耦合激子的性质

研究了抛物型半导体量子点中强耦合激子的性质．在有效质量近似下，采用线性组合算符和幺正变换的方法，导出了半导体量子点中重空穴激子的基态能量．在强耦合情况下讨论了量子点半径

期刊

半导体量子点激子线性组合算符强耦合semiconductor quantum dot exciton linear combination str

论煤矿作业人员的个体防护措施

分析了粉尘、瓦斯中毒及爆炸、物理伤害、噪声伤害等煤矿主要职业安全危害因素;指出了针对不同危害因素应配备的个体防护用品;介绍了相关个体防护用品的特点及适用性;重点阐

期刊

煤矿个体防护防尘口罩职业危害

小学美术线描教学策略

线描是小学美术教学的重要组成部分,也是学生学习美术、开展美术活动的最基本的技能之一。线描的学习,不仅是学生小学阶段的美术学习的基础,对以后的美术学习也有很大的作用

期刊

线描儿童绘画心理策略

基于La0．7Sr0．3FeO3的微结构乙醇气体传感器的研制

以La0.7Sr0.3FeO3为敏感材料，设计制成了一种新型的共平面结构气体传感器．基于有限元分析软件Ansys对该传感器结构进行了优化设计．实验测得该传感器对于500ppm浓度乙醇气体的灵

期刊

La0.7Sr0.3FeO3纳米材料微结构低功耗乙醇气体传感器La0.7Sr0.3FeO3 nano material micro-struc

一种改进了碰撞电离的超高速InP基SHBT SDD模型

从物理机制上分析了超高速InP/InGaAs SHBT碰撞电离与温度的关系,通过加入表示温度的参数和简化电场计算,得到一种改进的碰撞电离模型.同时针对自有工艺和器件特性,采用SDD（sy

期刊

碰撞电离温度依赖超高速InP基SHBTSDD模型impact ionization temperature dependent ultra high

甲醇装置循环水冷却器腐蚀原因及其防范措施

结合陕煤化公司甲醇装置循环水系统的运行实际,分析各种以循环水为介质的冷却器遭受腐蚀的原因,提出了相应的化学清洗—预膜和防腐蚀措施。

期刊

甲醇生产线循环给水冷却器防腐蚀

在阅读实践中学习阅读——《庐山的云雾》教学谈

学会阅读,才能更好的学习,可见培养学生的阅读能力是十分重要的。阅读教学教师是指导者,设计者,主动权应该交给学生。语言是表情达意的工具,只有真正走进文本,走进作者,才能

期刊

阅读教学体验阅读广泛阅读阅读能力

用于10Gbit／s传输的对接集成DFB—LD／EA—MD光源

报道了用于10Gbit／s传输的DFB激光器和EA调制器对接集成器件的设计、制作和器件特性．工作主要集中于两个方面：提高激光器和调制器间的光学耦合；通过减小调制器电容提高调制带宽．集

期刊

集成光电器件电吸收调制器分布反馈激光器对接集成3DB带宽integrated optoelectronic deviceelectro-absorp

基于同一外延层结构的10Gb／s单片集成光发射模块

与本文相关的学术论文