论文部分内容阅读
低温衬底使器件在制膜过程中避免热伤害。研究得到强水冷衬底的射频反应溅射法制备ａ－ＳｉＯ２薄膜的最佳工艺条件。所制得的薄膜具有好的致密度和抗腐蚀性。
低温衬底的射频反应溅射法制备a—SiO2薄膜的研究
【摘 要】
：
低温衬底使器件在制膜过程中避免热伤害。研究得到强水冷衬底的射频反应溅射法制备ａ－ＳｉＯ２薄膜的最佳工艺条件。所制得的薄膜具有好的致密度和抗腐蚀性。
【机 构】
：
武汉大学物理学系,山东大学物理学系
【出 处】
：
武汉大学学报：自然科学版
【发表日期】
：
1999年5期
【基金项目】
：
国家自然科学基金,,教育部重点科学技术项目基金
其他文献
铁线莲花色丰富,花型多变,在国内外具有广阔的市场前景,被广大园艺爱好者喜爱,但在铁线莲育种中仍面临许多问题。本实验在收集国内外不同铁线莲种质资源的基础上,测定8个铁线莲品种叶绿素荧光参数变化,对8个铁线莲品种进行耐热性的初步评价;并以部分耐热品种为亲本进行杂交,观察子代性状,筛选出观赏价值较高的4个单株,同时对铁线莲遗传规律进行初步研究;针对杂交后代高温下败育、发芽时间长的问题,进行了铁线莲胚挽救
发达国家高等教育质量保障方面的经验值得借鉴。我国应建立独立或半独立性的专业化高等教育评估机构,进一步完善质量保障机制,以全面提高我国高等教育质量。
食品安全问题无论是在一国境内的国内立法还是在世界范围内的国际人权文件中都备受关注关注,寻求在这种趋势下依旧突出的食品安全问题的解决方法,也成为了需要探讨的重要话题
近来输送分拣装备需求快速增加,同时产品个性化特征明显,为了解决输送分拣装备非标产品设计制造阶段周期长的问题,以实现快速设计方案和交货,开展了面向多目标规划的输送分拣
语言是文化的载体,由于中英文化的不同,英语学习者在使用英语尤其是翻译时会出现一些跨文化语用失误。要想避免这些失误,英语语感的培养非常重要。
用正电子谱学研究了高分子材料聚苯乙烯和聚氯乙烯压力弛豫过程中微观结构的变化，测量了聚杠乙烯及聚氯乙烯在加压力后的样品中正电子寿命随弛豫时间的变化。并讨论了正电子辐
分析总结了基于身份的加密机制(Identity Basdd Encryption)系统构造的基本条件和框架,并对Boneh和Franklin提出的基于双线性映射的IBE方案(BF-IBE)进行了详细地讨论;在此基础上,利用双线性对的特殊性质,构造了两类变形方案,实现了多种实际应用的形式,并讨论了这些应用的有效性.
在共享经济高速发展的背景下,新兴的网约车提高了用户出行的效率、加快了出租车互联网的进程、有效促进了公用车改革,同时为社会提供了数百万的工作岗位,具有极大发展前景。
目的:研究流体剪切力(Fluid shear stress,FSS)通过调控RAW264.7细胞中的细胞外信号调节激酶5(extracellular-regulated kinase 5,ERK5)信号通路对其向破骨细胞分化及骨吸收