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采用光辅助金属有机化学气相沉积（MOCVD）技术在（0001）蓝宝石衬底上制备了ZnO薄膜。通过X射线衍射、透射光谱和霍尔测试等研究了光照对MOCVD法制备的ZnO薄膜的影响。实验结果表明，引入光辅助后制备的ZnO薄膜，其结晶质量和光学质量均得到改善。分析认为，这主要是由于光辅助有助于提高锌有机源的分解效率，并且高能量的光子可为反应吸附的原子提供足够高的激活能，从而易于其迁移到合适的晶格位置所致。同时我们还发现，有光照和无光照条件下制备的ZnO薄膜均呈n型导电，但有光照条件下制备的ZnO薄膜具有更低的本底