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对一在10^-5Pa真空下连续抽空气15000h以上的溅射离子泵Ti阴极,测量了表面几何“起伏”,分析了剖面金相照片,谱用X光衍射,XPS,AES进行了分析研究,结已表明,表层Ti原子几首全部与N结合生成TiN,整块材料内有部分Ti的氢化物生成,且阴极表面约6%的区域提供了80%的溅射量。