【摘 要】
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对一种精密流场维持系统进行了设计,包括软件模块、维持单元控制模块、供液控制模块、运动平台控制模块等,并通过这一控制系统实现了精密流场的建立、动态维持和撤销等功能。使用流场温度测量系统、流场压力测量系统、流场气泡观测系统对相关流场进行了测量与验证,测试结果表明,流场的温度梯度、压力波动、气泡数量等指标达到实验要求。
【机 构】
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上海微电子装备（集团）股份有限公司
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对一种精密流场维持系统进行了设计,包括软件模块、维持单元控制模块、供液控制模块、运动平台控制模块等,并通过这一控制系统实现了精密流场的建立、动态维持和撤销等功能。使用流场温度测量系统、流场压力测量系统、流场气泡观测系统对相关流场进行了测量与验证,测试结果表明,流场的温度梯度、压力波动、气泡数量等指标达到实验要求。
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