【摘 要】
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制备了具有绞合钢线芯的三丝绞合电镀金刚石线锯,并通过与单丝金刚石线锯的对比分析,研究了三丝绞合电镀金刚石线锯的切割性能,包括力学性能、切割效率、线锯磨损等。多晶硅
【机 构】
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河北工程大学机电学院,清华大学微电子学研究所,江西旭阳雷迪高科技股份有限公司
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制备了具有绞合钢线芯的三丝绞合电镀金刚石线锯,并通过与单丝金刚石线锯的对比分析,研究了三丝绞合电镀金刚石线锯的切割性能,包括力学性能、切割效率、线锯磨损等。多晶硅锭切割实验表明:在相同的切割线张力、工作台进给速度等条件下,三丝绞合电镀金刚石线锯切割时的线弓明显小于单丝电镀金刚石线锯,最大可减小23%。其具有磨损小,切割能力强,使用寿命长等优点。
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