【摘 要】
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研究了椭偏测量中多层薄膜拟和模型建立的过程，并对一未知多层光学薄膜进行了椭偏分析，建立了substrate／filml／EMA／film2／srough的物理结构模型。采用椭偏法，在首先确定出基底光学常
【基金项目】
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西安市科技创新支撑计划(YF07051);陕西省科技计划项目(2007K07-17)
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研究了椭偏测量中多层薄膜拟和模型建立的过程，并对一未知多层光学薄膜进行了椭偏分析，建立了substrate／filml／EMA／film2／srough的物理结构模型。采用椭偏法，在首先确定出基底光学常数的基础上，提出了从单层、双层、三层逐次建模拟和的分析方法。研究结果表明：对于透明或弱吸收光学薄膜，采用柯西公式可以较好表征材料的色散关系。椭偏分析最终得到的未知薄膜基本结构为G（1．52）／2．0312（203．0nm）1．4636（170．1nm）2．0791（170．4nm）／A，膜系设计及分光光度计
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