【摘 要】
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利用磁控溅射技术,在石英基片上沉积Ti膜,分别在400、600、700、900℃的大气中退火获得TiO2薄膜。采用这种制备方式获得的TiO2薄膜呈现不同的颜色,退火温度为400℃的样品为暗
【机 构】
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中国地质大学(北京)材料科学与工程学院;
【基金项目】
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中国地质大学(北京)大学生创新性实验计划项目(51900265029);中国地质大学(北京)矿物岩石材料开发应用国家专业实验室开放课题(09A004)
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利用磁控溅射技术,在石英基片上沉积Ti膜,分别在400、600、700、900℃的大气中退火获得TiO2薄膜。采用这种制备方式获得的TiO2薄膜呈现不同的颜色,退火温度为400℃的样品为暗紫红色,600℃时为黑色,而在700℃和900℃时均为黄色。采用X射线衍射、扫描电子显微镜(SEM)以及Raman光谱等手段研究了退火温度对TiO2薄膜的结构和形貌的影响。结果表明:退火温度为400℃时,TiO2薄膜为锐钛矿相,温度升高至600℃时,几乎转变为金红石晶相,但仍存在微量锐钛矿相,温度升高至700℃以上,则完全转变为金红石晶相。由XRD衍射图可知退火温度为700℃和900℃时,薄膜的金红石相沿(101)晶面择优取向。
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