【摘 要】
：
随着MEMS技术的发展，惯性微陀螺仪以其尺寸小、精度高等特点，越来越受到人们的关注。在汽车导航、消费电子、移动应用等民用领域，航空航天以及现代和可预见的未来高科技战场
【机 构】
：
上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海200240
【出 处】
：
2010(第三届)中国微纳电子技术交流与学术研讨会
论文部分内容阅读
随着MEMS技术的发展，惯性微陀螺仪以其尺寸小、精度高等特点，越来越受到人们的关注。在汽车导航、消费电子、移动应用等民用领域，航空航天以及现代和可预见的未来高科技战场上拥有着广阔的发展和市场前景。根据微陀螺仪的原理不同，可以分为哥氏加速度效应微振动陀螺、流体陀螺、固体微陀螺、悬浮转子式微陀螺、微集成光学式陀螺以及原子陀螺。微振动陀螺仪是最早使用的微陀螺仪，也是目前市场上使用最多也相对比较成熟的陀螺仪。
其他文献
2011年8月15日,谷歌公司(Google)宣布将以约125亿美元的天价收购摩托罗拉移动公司(Moto)。联想近十年,中国企业海外收并购案例日益增多,中国企业在世界商界越来越多的大手笔,
文章从分析1978年至2010年间发表在国外英文类核心期刊上的区域旅游合作文章入手,以全新的视角,解释了国内学者参考国外区域旅游合作文献的必要性,分析了区域旅游合作的基本
本报讯 （通讯员 陆玥芳 经济报记者 杜颖梅）“这对广大民营企业和企业家来说是又一利好。”记者昨日从省工商联获悉，中共中央、国务院出台的《关于完善产权保护制度依法保护产权
酒店是劳动密集型的工作场所,员工不仅需要一定的人力资本,而且更需要社会资本与心理资本,研究这3种资本对酒店员工绩效与组织承诺的协同作用具有理论与现实意义。文章通过实
目的探讨重症颅脑损伤早期建立人工气道患者的临床护理效果。方法随机抽取60例重症颅脑损伤患者作为研究对象,采用回顾分析法,将其分为对照组与治疗组各30例,对照组予常规呼
目前很多大型储罐施工为正装法,高空作业频率高,安全风险大,而且受到气候影响很大。大型储罐倒装法施工能够保证安全和进度。
矿山测量技术是一个重要应用领域,在矿山的生产过程中有着非常重要的作用。笔者通过以下内容阐述了矿山测量新仪器及新技术的发展并做出了分析。
<正>古诗词是中国传统文化的精髓,具有很高的美学价值和艺术魅力。语文课程应通过优秀文化的熏陶感染,提高学生的思想道德修养和审美情趣。在小学古诗词教学中,教师应该采取
目的探讨相应护理措施对预防高龄患者坠积性肺炎发生的意义。方法对186例高龄患者实施体位引流,翻身叩背,拍背等细致护理。结果仅2例发生坠积性肺炎,经抗生素治疗及加强护理
最近几年,随着人们物质生活水平的越来越高以及科学技术的迅猛发展,智能化建筑在为购房者提供多种方便的同时,也为开发商减少人员成本。被购房者和开发商一致看好,促进了市场