【摘 要】
：
天文观测所使用的光栅为大尺寸中阶梯光栅,其制作方法是利用金刚石刻刀对铝膜进行加工,形成光栅槽形,所以铝膜的质量能够直接影响光栅的性能。铝膜的厚度均匀性是判断铝膜质
【机 构】
：
长春理工大学光电工程学院,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
论文部分内容阅读
天文观测所使用的光栅为大尺寸中阶梯光栅,其制作方法是利用金刚石刻刀对铝膜进行加工,形成光栅槽形,所以铝膜的质量能够直接影响光栅的性能。铝膜的厚度均匀性是判断铝膜质量的重要指标,以现有的内径1.8米镀膜设备为例,对铝膜的厚度均匀性做理论分析和实验研究,得出了电子束制备铝膜的蒸气发射特性n为4.5,并确定了最佳的真空室布局:蒸发源位置l=500mm,工件架高度h=900mm。在直径680mm的镀膜面积范围内,铝膜的厚度均匀性可以达到±1%,满足大尺寸天文光栅研制对铝膜厚度均匀性的要求。
其他文献
介绍了某炼油厂加氢精制装置换热器E5104A/B腐蚀泄漏的特点和原因,经调查表明,换热器泄漏的主要原因是因为循环水中漏入了腐蚀性介质及有机物,对换热器产生了腐蚀。并提出了
光学镜片的透过率和反射率对整个光学系统的性能有非常重要的影响,而光学镜片透反射率测量系统的可靠性直接影响其测量结果,所以对透反射率测量系统进行可靠性分析尤为重要。
为制备水相、低毒、生物兼容性较好的三元量子点，通过水相合成法制备三元银铟硫（AgInS。）量子点，并用叶酸（FA）对其进行修饰，利用透射电子显微镜、紫外一可见一近红外分光光度计、荧
【正】 两年多来,由于兼任我校机械专业三年级科技英语教学工作,对学生的英语基础和现状有所了解。不可否认,通过少则两年,多达六年的英语学习,工科院校的学生已打下相当厚实
【正】 美国高等教育改革的一项措施——将计算机CAE·引入教学计划美国人均收入指标在世界上的名次,由一九七八年的第四位,降到一九八一年的第八位。学者们呼吁要下本钱
【正】 中国有色金属高等教育学会第一次代表会议于一九八四年十二月二十一至二十五日在桂林冶金地质学院召开。有色金属工业总公司教育培训部主任贾宗智、副主任邹润候,总公
【正】 在地质类院校中,为物探专业本科生开设的场论课,内容主要是两大部分:(1)场的物理学,包括引力场理论和电磁场理论;(2)分析场的数学方法,包括矢量分析、复变函数、积分
设计了一种基于软件的力促动器控制系统,并进行了实验测试。控制器的设计由上位机软件实现,采用了外环力环与内环位置环的双闭环控制策略,内环位置环能抑制其内部各个环节扰
【正】 函授教育是成人教育的重要组成部分。当今函授教育的一个重要问题,就是要在改革中发展和提高函授教育,多出人才,出好人才,主动适应经济和社会发展的需要。一、函授教
TDX-200透射电子显微镜的点分辨率为0.35 nm,已经不能满足目前的实验与测试需要。鉴于此,以0.25 nm的点分辨本领为优化目标,通过理论计算得到满足目标分辨率时物镜的球差和色