【摘 要】
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＜正＞ n+-p-p+硅太阳电池的正面结和背面结一般是由三道工序完成的,本文报道了一种一次成型的新工艺。它简化了工艺,降低了成本。 一、工艺 选用p型硅片。片子清洗干净后,背面涂B-Al源,每两片一组,正面向外,合成“夹心饼干”式样推入扩散炉内,通以POCl3液态源进行n+扩散。这样,一次就可在片子正面形成
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＜正＞ n+-p-p+硅太阳电池的正面结和背面结一般是由三道工序完成的,本文报道了一种一次成型的新工艺。它简化了工艺,降低了成本。 一、工艺 选用p型硅片。片子清洗干净后,背面涂B-Al源,每两片一组,正面向外,合成“夹心饼干”式样推入扩散炉内,通以POCl3液态源进行n+扩散。这样,一次就可在片子正面形成
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