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在高温外延气氛下，ＳＩＭＯＸ结构会被损伤，退化，本文用卢瑟福背散射技术分析了这种退化，指出这种退化主要是高温下氢对表层硅的反应剥蚀及氢经表层硅中穿透性错使埋层ＳｉＯ２分解。
SIMOX结构退化的卢瑟福背散射研究
【摘 要】
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在高温外延气氛下，ＳＩＭＯＸ结构会被损伤，退化，本文用卢瑟福背散射技术分析了这种退化，指出这种退化主要是高温下氢对表层硅的反应剥蚀及氢经表层硅中穿透性错使埋层ＳｉＯ２分解。
【机 构】
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江苏石油化工学院功能材料实验室,中科院上海冶金所信息功能材料国家重点实验室
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1996年3期
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