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本文叙述集成硅热电堆和它们在硅传感器中的应用。首先概述热电效应及其在硅热电堆中的应用,重点阐述热敏传感器微结构的设计,其次讨论基于热效应的各种敏感原理,最后介绍利用这些原理最近研制的几种硅热电堆传感器。
集成热电堆传感器
【摘 要】
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本文叙述集成硅热电堆和它们在硅传感器中的应用。首先概述热电效应及其在硅热电堆中的应用,重点阐述热敏传感器微结构的设计,其次讨论基于热效应的各种敏感原理,最后介绍利
【出 处】
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控制工程
【发表日期】
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1993年01期
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