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Study of the Characteristics of DC and ICP Hybrid Discharge Plasmas
Study of the Characteristics of DC and ICP Hybrid Discharge Plasmas
来源 :黑龙江科技信息 | 被引量 : 0次 | 上传用户:taorong19880903
【摘 要】
:
本文通过对荣华二采区10
【作 者】
:
WANG Zhan
GAO Wei
ZHANG Peng
YAN Huijie
REN Chunsheng
【机 构】
:
AVIC Shenyang Aircraft Design & Research Institute, Shenyang 110035, China“,”School of Physics and O
【出 处】
:
黑龙江科技信息
【发表日期】
:
2015年3期
【关键词】
:
ICP
DC discharge
Langmuir probe
plasma characteristic
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本文通过对荣华二采区10<
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