CdTe薄膜的微观结构分析

来源 :内蒙古大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：niyon

【摘要】

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应用真空蒸发技术制备CdTe薄膜,并借助于扫描电子显微镜(SEM)、扫描俄歇谱仪(AES)和X射线衍射仪(XRD)对其微观结构进行分析.主要研究了不同工艺条件、不同原子配比、以及不同

【作者】

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杨笛李蓉萍荣利霞

【机构】

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内蒙古工业大学基础部,内蒙古大学物理系

【出处】

：

内蒙古大学学报(自然科学版)

【发表日期】

：

2001年5期

【关键词】

：

CDTE薄膜掺杂微观结构真空蒸发技术原子配比镉碲薄膜 CdTe thin film doping microstructure

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应用真空蒸发技术制备CdTe薄膜,并借助于扫描电子显微镜(SEM)、扫描俄歇谱仪(AES)和X射线衍射仪(XRD)对其微观结构进行分析.主要研究了不同工艺条件、不同原子配比、以及不同掺杂浓度下制得的CdTe薄膜的结构、物相,研究结果表明:以Cd:Te=0.9:1原子配比制得的CdTe薄膜具有最佳的结晶度和组分计量比;掺杂会使CdTe薄膜的结构、物相有所改变.

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