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微型机电系统是一个新兴的技术领域，其主要优点是体积小、重量轻、能耗少、响应快、大批量、成本低等，有广泛的应用前景。在概述微型机电系统的基础上，介绍了用于医疗的微型机电系统，包括微型传感器、微流量系统、微仪器，以及其它MEMS系统。最后简介了国内在这方面的发展状况。
微型机电系统在医疗中的应用
【摘 要】
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微型机电系统是一个新兴的技术领域，其主要优点是体积小、重量轻、能耗少、响应快、大批量、成本低等，有广泛的应用前景。在概述微型机电系统的基础上，介绍了用于医疗的微型机电
【机 构】
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清华大学精密仪器与机械学系北京市100084
【出 处】
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中国机械工程
【发表日期】
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2001年02期
【基金项目】
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国家自然科学基金(29833070)
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