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利用溶胶-凝胶法在玻璃衬底上制备了Na-Mg共掺的ZnO薄膜,研究在定量Na,不同Mg掺杂量下对ZnO薄膜的晶体微观结构、表面形貌和光学特性的影响。样品采用x射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外一可见光光度计UV-VIS进行了表征。结果表明：Na-Mg共掺后的ZnO薄膜仍具有六角纤锌矿结构,并且有利于C轴择优取向。共掺提高了薄膜的结晶质量,其中Na∶Mg为1∶1时,薄膜结晶质量最好,薄膜透过率达88％。实验也验证了随着Mg掺杂量增加,带隙宽度线性增加。