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文章介绍了应用于射频微波系统的MEMS滤波器,结合最近几年国内外的MEMS滤波器研究成果,从MEMS滤波器的设计方法和滤波器性能等方面阐述了各种MEMS滤波器的技术发展状态。
微波MEMS滤波器的研究进展
【摘 要】
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文章介绍了应用于射频微波系统的MEMS滤波器,结合最近几年国内外的MEMS滤波器研究成果,从MEMS滤波器的设计方法和滤波器性能等方面阐述了各种MEMS滤波器的技术发展状态。
【机 构】
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电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室
【出 处】
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空间电子技术
【发表日期】
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2010年01期
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