SiO2—Ti纳米迭层膜的制备

来源 :薄膜科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：sdfffasdf

【作者】

：

李戈扬王张敏

【出处】

：

薄膜科学与技术

【发表日期】

：

1993年1期

【关键词】

：

纳米迭层膜磁控溅射 SiO2-Ti

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